Определение

Керамические мишени для магнетронного распыления изготавливаются из высокочистых оксидов металлов, нитридов и других сырьевых материалов методом точного формования и спекания. Они являются основными материалами для нанесения покрытий методом магнетронного распыления, осаждения наноразмерных тонких пленок с использованием процессов PVD. Это незаменимые базовые материалы в высокотехнологичных областях, таких как электроника и новые источники энергии.

Технические характеристики

Распространенные материалы включают ITO, SiO₂ и TiO₂, с чистотой 5N-6N+ и плотностью ≥99,5%. Размеры могут быть изготовлены на заказ, от малых до больших, чтобы соответствовать требованиям процесса магнетронного распыления в различных отраслях промышленности.

Основные характеристики

Высокая чистота, высокая термостойкость и коррозионная стойкость, высокая эффективность распыления, прочная адгезия пленки, превосходные оптоэлектронные свойства, однородная и стабильная структура, подходит для жестких требований высокотехнологичного производства.

Сценарии применения

Широко используются в полупроводниках, дисплейных панелях, фотовольтаике и других областях, а также в оптических устройствах и батареях для возобновляемой энергетики. Они позволяют получать различные ключевые функциональные тонкие пленки, способствуя модернизации последующих отраслей промышленности.