Определение

Керамическая кристальная лодочка изготавливается из высокочистого карбида кремния методом прецизионного формования и спекания. Используется для позиционирования и поддержки полупроводниковых пластин и кремниевых подложек в высокотемпературных процессах. Является ключевым носителем в термических процессах полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Подразделяется на вертикальные и горизонтальные типы, изготавливается из материалов SiSiC и SSiC, адаптируется под различные требования к производительности и точности.

Технические характеристики

Вертикальные: высота 680–1000 мм, подходят для пластин диаметром 6–12 дюймов, вместимость 118–135 пластин. Горизонтальные: длина 119–165 мм, подходят для пластин диаметром 4–8 дюймов, шаг зубьев 2,38–6,35 мм, допуск ±0,2 мм. Поддерживается изготовление на заказ для адаптации к конкретным печам.

Ключевые характеристики

SSiC: термостойкость до 1800°C, прочность на изгиб при 1300°C ≥ 560 МПа. SiSiC: термостойкость до 1400°C, прочность на изгиб 300–450 МПа. Обладают устойчивостью к термоударам и коррозии, не образуют частиц осыпания. Срок службы более чем в 5 раз превышает срок службы кварцевых лодочек.

Области применения

Вертикальные лодочки используются в фотоэлектрических печах отжига и высокотехнологичном полупроводниковом оборудовании. Горизонтальные лодочки подходят для диффузионных печей и оборудования LPCVD.Способствуют процессам легирования пластин и пассивации кремниевых подложек, повышают однородность процесса и снижают затраты.