Услуги тестирования высокочистых жидких химических веществ для полупроводников представляют собой услуги по проверке и анализу высокочистых химических веществ, используемых в производстве полупроводников. Эти химические вещества обычно используются в таких этапах полупроводникового процесса, как травление, очистка, осаждение и другие. Услуги тестирования высокочистых жидких химических веществ для полупроводников с помощью различных аналитических методов, таких как масс-спектрометрия, инфракрасная спектроскопия, ядерный магнитный резонанс и другие, могут проводить тестирование примесей, содержания, чистоты и других параметров в химических веществах, чтобы гарантировать качество и пригодность химических веществ.

Высокочистые жидкие реагенты, их классы в соответствии с чистотой подразделяются на три класса: UP-S, UP, EL, причем EL дополнительно подразделяется:

Электронный класс 1 (EL-Ⅰ) с содержанием металлических примесей 100-1000 частей на миллиард, что соответствует стандарту SEMI C1 C2;

Электронный класс 2 (EL-Ⅱ) с содержанием металлических примесей 10-100 частей на миллиард, что соответствует стандарту SEMI C7;

Электронный класс 3 (EL-Ⅲ) с содержанием металлических примесей 1-10 частей на миллиард, что соответствует стандарту SEMI C7;

Электронный класс 4 (EL-Ⅳ) с содержанием металлических примесей 0,1-1 частей на миллиард, что соответствует стандарту SEMI C8;

Технологические химические вещества международный стандарт SEMI