Предельное давление: может достигать 10⁻⁹ Па или даже ниже (например, 10⁻⁹ Па)
Диапазон рабочего давления: обычно от 10⁻⁹ Па до 10⁻⁹ Па (или шире)
Скорость перекачки: от десятков до тысяч литров в секунду
Степень сжатия: зависит от типа газа. Для азота (N₂) она может достигать 10⁸⁹ Па. Для водорода (H₂) она ниже, примерно 10⁻⁹ Па. Для тяжёлых газов или паров масла она может быть выше (более 10⁻⁹ Па).
Скорость: скорость вращения ротора чрезвычайно высока, обычно от 10 000 до 90 000 об/мин.