Ключевые параметры
| Технические характеристики |
Термопара для печей диффузии (Внутрипечная) |
Термопара для печей окисления (Внутрипечная) |
| Тип (градуировка) |
S, R |
K, N |
| Диаметр термоэлектродов / оболочки |
φ0.35~0.5 мм |
φ2~4 мм |
| Рабочий диапазон температур |
0~1100 °C |
0~950 °C |
| Точность измерения |
±1.0 °C |
±1.5 °C или 0.4%t |
| Длина защитной гильзы |
≤4000 мм |
≤4000 мм |
| Диаметр защитной гильзы |
φ12~18 мм |
φ14~22 мм |
| Материал защитной гильзы |
Кварц |
310S или 321 |
| Конструкция измерительного конца |
Открытый (неизолированный) спай |
Изолированный спай |
| Количество измерительных точек |
3~6 точек |
3~9 точек |
| Способ подключения |
Миниатюрный разъем |
Миниатюрный разъем |
| Компенсационные провода |
SC-2x0.5FPF |
KX(NX)-2x0.5FPF |
| Конструктивная особенность |
Сложность комбинированной сборки отдельных термопар |
Отдельные термопары могут свободно комбинироваться |
Особенности продукции
Металлические материалы обеспечивают высокую термическую стабильность, отличную линейность температурной характеристики и малую погрешность, что удовлетворяет требованиям прецизионных измерений.
Поддержка индивидуального заказа длины и диаметра зонда, а также способа монтажа для соответствия компоновке различных типов печей.
Оптимизированы для соблюдения требований чистоты, высоких температур и низкого уровня загрязнений в полупроводниковых печах, исключая влияние на производственный процесс.
Другие ключевые слова: Внутризонные термопары для печей диффузии, Термопара типа S, Термопара типа R.