Услуги тестирования высокой чистоты химических веществ представляют собой специализированную область услуг по проверке и анализу чистоты и качества химических веществ, используемых в процессе производства полупроводников. Это включает использование различных аналитических технологий и оборудования для определения содержания примесей, чистоты и химического состава химических веществ, чтобы гарантировать их соответствие требованиям производства полупроводников.
◆ Сверхчистые неорганические кислоты класса G4/G5: HNO3, HCl, HF, H2SO4, SC-1, SC-2, SPM, LHF, DHF, BOE и другие
◆ Сверхчистая перекись водорода класса G4/G5: H2O2
◆ Сверхчистые щелочи класса G4/G5: ТМАН, NH3·H2O и другие
◆ Сверхчистые органические химические вещества класса G4/G5: ИПС, ПГМЭ, ПГМЭА, ОК-73, ЕКС, СТ-44 и другие
◆ Фоторезисты
◆ Сверхчистые диэлектрические прекурсоры и металлические прекурсоры: ТЕОС, ТЕВ, ТЕРО, ТДМАТ и другие
◆ КОН, NaOH, суспензии и другие
◆ Сверхчистая вода (профессиональный персонал осуществляет отбор проб на месте у заказчика с использованием профессиональных методов)
◆ 12-дюймовые, 8-дюймовые, 6-дюймовые кремниевые пластины и чипы
◆ Объемные металлы кремниевых материалов
◆ Чипы из сложных полупроводниковых соединений (чипы полупроводников третьего поколения)
◆ Высокочистые газы: Cl2, HCl, SiH4, NH3, O2, N2, H2 и другие
◆ Загрязнения чистого воздуха на производстве Fab (ЛВХ)
◆ Очистка компонентов
◆ Фильтрующие материалы
◆ Уплотнительные кольца и другие расходные материалы для производства полупроводников
◆ Материалы для жидких кристаллов и OLED