Определение

Керамические паропоглотители изготавливаются из высокочистого карбида кремния и оксида алюминия методом горячего прессования или безнапорного спекания. Это прецизионные керамические компоненты для терморегулирования, используемые для равномерного распределения тепла и балансировки температурного поля в условиях высоких температур. Они доступны в вариантах SiSiC и SSiC, подходящих для экстремальных требований к терморегулированию в высокотехнологичном производстве, обеспечивая стабильную тепловую среду для прецизионного оборудования.

Технические характеристики

Стандартные размеры варьируются от 300×300×10 мм до 500×500×20 мм, толщина 5-20 мм. Возможны квадратные, круглые и неправильные формы по индивидуальному заказу. Чистота поверхности достигает микронного уровня, плоскостность ≤0,1 мм, допуск ±0,2 мм. По запросу могут быть выполнены отверстия и фаски.

Основные характеристики: SSiC обладает термостойкостью 1650℃ и теплопроводностью 150-200 Вт/м·К; SiSiC имеет долговременную термостойкость 1380℃ и теплопроводность ≥45 Вт/м·К. Оба материала обладают низкими коэффициентами теплового расширения, твердостью по шкале Мооса 9,5, а также высокой коррозионной стойкостью, изоляционными свойствами и устойчивостью к термическим ударам.

Сценарии применения: Широко используется в полупроводниковой, фотоэлектрической, химической промышленности и системах хранения энергии, подходит для обработки кремниевых пластин, пассивации кремниевых пластин и других процессов, заменяя традиционные материалы, улучшая равномерность теплообмена, продлевая срок службы и сокращая потери на техническое обслуживание и простои.