1.Таблица моделей высокоточного индукционного нагревателя для выращивания кристаллов на подложках SiC
| Модель изделия |
AtecFC-20/380T |
AtecFC-40/380T |
AtecFC-60/380T |
AtecFC-80/380T |
| Входное питание |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,34A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,68A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,102A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,136A |
| Номинальная выходная мощность |
20Kw |
40Kw |
60Kw |
80Kw |
| Выходная частота |
2~20kHz(Возможна индивидуальная разработка, стандартный диапазон частот:2~4kHz,7~12kHz,15~20kHz) |
| Выходной ток |
200~2000A(Разработано в соответствии с размерами тигля, размерами индукционной катушки и рабочей частотой
)
|
| Размер корпуса
(mm)
|
460x600x600 |
460x600x600 |
560x700x800 |
560x700x800 |
| Вес(kg) |
120kg |
150kg |
180kg |
200kg |
| Разрешающая способность по мощности |
0.0025%*Номинальная мощность |
| Точность управления |
0.02%*Номинальная мощность |
2.Таблица моделей высокоточного индукционного нагревателя для SiC сырьевых печей и высокоточного индукционного нагревателя с двумя каналами, двумя температурными зонами и двойной катушкой
| Модель продукта |
AtecFC-2x40/380T-C9F1 |
AtecFC-2x50/380T-C9F1 |
AtecFC-2x60/380T-C9F1 |
AtecFC-2x120/380T-HB1F1 |
| Входное питание |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,134A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,168A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,202A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,404A |
| Номинальная выходная мощность
|
2x40kW |
2x50kW |
2x60kW |
2x120kW |
| Выходная частота |
0.5~3kHz(Можно спроектировать и изготовить по индивидуальному заказу. Частота синхронного двухканального источника питания не должна быть слишком высокой, иначе помехи будут значительными.) |
| Выходной ток |
600~2000A(Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.) |
| Размер шкафа источника питания
(mm)
|
W1600xH2100xL650 |
W1600xH2100xL650 |
W1000xH1800XL400 |
W1600xH2100xL650 |
| Размер трансформаторного корпуса |
W320xH500xL680 |
W320xH500xL680 |
W320xH500xL680 |
W500xH600xL800 |
| Общий вес(kg) |
400kg |
420kg |
450kg |
600kg |
| Разрешающая способность по мощности |
0.0025%*Номинальная мощность |
| Точность управления |
0.02%*Номинальная мощность |
3.Таблица спецификаций высокоточного индукционного нагревателя для эпитаксии SiC
| Модель продукта |
AtecFC-80/380T-A34F4.5 |
AtecFC-80/380T-B2F4.5 |
AtecFC-100/380T-C8X3F3.5(Имеется CE-сертификат) |
AtecFC-100/380T-K1X3F3.5 |
| Входное питание |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,134A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,134A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,168A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,168A |
| Номинальная выходная мощность
|
80kW |
80kW |
100kW |
100kW |
| Выходная частота |
3.5kHz/4.5khz |
| Выходной ток |
1000~1600A(Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.) |
| Размер шкафа источника питания
(mm)
|
W560xH950XL400 |
W560xH800XL700 |
W1100XH1400XL560 |
W750xH1000xL900 |
| Размер трансформаторного корпуса |
W403xH392xL600 |
——(Встроенный) |
W250Xh450xL580 |
——(Встроенный) |
| Общий вес(kg) |
150kg |
150kg |
150kg |
200kg |
| Разрешающая способность по мощности |
0.0025%*Номинальная мощность |
| Точность управления |
0.02%*Номинальная мощность |
4.Таблица спецификаций индукционного нагревателя для нагрева тиглей из иридия и платины
| Модель продукта |
AtecFC-20/380T |
AtecFC-40/380T |
AtecFC-60/380T |
AtecFC-80/380T |
| Входное питание |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,34A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,67A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,101A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,134A |
| Номинальная выходная мощность
|
20kW |
40kW |
60kW |
80kW |
| Выходная частота |
2.5kHz/8khz |
| Выходной ток |
1200~2000A(Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.) |
| Размер шкафа источника питания
(mm)
|
W560xH950XL400 |
W560xH800XL700 |
W560xH800XL700 |
W560xH800XL700 |
| Размер трансформаторного корпуса |
W400xH490xL700 |
W400xH490xL700 |
W400xH490xL700 |
W400xH490xL700 |
| Общий вес(kg) |
200kg |
200kg |
200kg |
200kg |
| Разрешающая способность по мощности |
0.0025%*Номинальная мощность |
| Точность управления |
0.02%*Номинальная мощность |
5.Таблица спецификаций высокоточного индукционного нагревателя для зонной плавки и очистки
| Модель продукта |
AtecDH-20/380T-A7F450
(Подходит для зонной плавки германия)
|
AtecDH-30/380T-A7F100
(Подходит для зонной плавки индия)
|
| Входное питаниеInput Power |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,34A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,50A |
| Номинальная выходная мощность
|
20kW |
30kW |
| Выходная частота |
100khz |
450khz |
| Выходной ток |
1600~2000A(Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.) |
| Размер шкафа источника питания
(mm)
|
W560xH950XL400 |
W560xH800XL700 |
| Размер трансформаторного корпуса |
W320xH500xL680 |
W400xH490xL700 |
| Общий вес(kg) |
150kg |
200kg |
| Разрешающая способность по мощности |
0.1%*Номинальная мощность |
| Точность управления |
0.5%*Номинальная мощность |
6.Таблица спецификаций высокоточного индукционного нагревателя для кристалл роста с высокочастотным охлаждаемым тиглем
| Модель продукта |
AtecDM-600/380T-H3F300 |
AtecDM-150/380T-H4F300 |
| Входное питание |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,34A |
Трёхфазный380V±5%,50Hz/60Hz,50A |
| Номинальная выходная мощность
|
600kW |
150kW |
| Выходная частота |
300khz |
300khz |
| Выходной ток |
2000~6000A(Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.) |
| Размер шкафа источника питания
(mm)
|
W2800xH2000XL1200 |
W2800xH2000XL1200 |
| Размер трансформаторного корпуса |
——Встроенный |
——Встроенный |
| Общий вес(kg) |
600kg |
600kg |
| Разрешающая способность по мощности |
0.1%*Номинальная мощность |
| Точность управления |
0.5%*Номинальная мощность |